采用真空蚀刻机使得线宽/线距≤30/30μm的线路图形*实现。而要得到理想的效果其中还需把握的是真空力度、喷淋压力和铜箔厚度等因素。蚀刻机中真空吸嘴对板面溶液的吸引量应是等于或稍大于喷淋量, 若吸引量小又会造成老溶液滞留。喷淋压力会影响到蚀刻速度与侧腐蚀程度, 但压力大会破坏抗蚀刻膜, 尤其是细节距线路图形上。对于线宽/线距=30/30μm线路, 常规设备下被蚀刻铜箔厚度小于12μm 标牌设备, 真空蚀刻时铜箔厚度18μm也可加工。可参考的数据 蚀刻标牌设备展会, 线宽/线距=30/30μm 标牌设备制造有限公司, 采用18μm铜箔, 喷淋压力0.1Mpa (1.02kgf/cm2)时吸引量40Hz (约120L/min) 二手电镀标牌设备, 得到均匀的线路图形。
蚀刻不锈钢所需准备工作
在腐蚀不锈钢,较快的办法就是先破坏钢表面的氧化层。比如说将不锈钢在水泥地上磨几下,或是用沙纸在钢表面擦几下。主要是破坏表面的氧化Cr,不锈钢不锈的原因也是因为Cr的存在。破坏后放在济南蓝光同茂机械制造的蚀刻机标牌设备中,这样腐蚀的较快了。